Pengering FOUP (Pod Bersatu Pembukaan Hadapan)

Tue, 02 Jun 2026 06:06:33 +0800

Pada lantai litho, ralat terma tidak memberi ruang yang luas untuk diatasi. FOUP yang menahan kelembapan atau menjadi panas di satu sudut dan sejuk di sudut lain akan mendorong photoresist melebihi had terma yang dibenarkan. Anda tidak akan melihatnya di coater—ia akan kelihatan kemudian sebagai penyimpangan lebar garis dan scumming. Kami membina pengering FOUP untuk menghapuskan variasi tersebut, supaya tingkap proses kekal pada tahap yang diperlukan: pada wafer.

Apa yang penting di bawah hud
Unit ini mengekalkan keseragaman terma pada tahap wafer dalam julat ±0.1°C merentasi FOUP, menggunakan profil haba yang sesuai untuk bilik bersih yang mengering tanpa memaksa pelarut masuk ke dalam resist atau membenarkan bahan cemar keluar. Penghasilan zarah adalah hampir sifar—bahan dan aliran udara disusun untuk bilik bersih Kelas 1–100. Kebolehulangan dimasukkan ke dalam gelung kawalan dan antaramuka mekanikal, supaya setiap kitaran pembakaran adalah seragam, batch demi batch. Kebolehpercayaan? Ia bergantung pada operasi tanpa waktu henti tidak dirancang yang boleh mengganggu keseimbangan barisan.

Pod) on Infrared Heating Zone Solutions

Pengering FOUP (Pod Bersatu Pembukaan Hadapan)