Op de lithografieafdeling zorgt een temperatuur van 95°C voor een consistente verhitting van het gewenste niveau. Eén halve graad verschil in temperatuur kan al leiden tot problemen bij het beheersen van de nauwkeurige dimensies van de producten. De dubbelbuismode infraroodverwarmingslamp is de oplossing voor deze problemen. Hij zorgt voor een snelle en efficiënte verhitting van het gewenste gebied op de chip, waardoor de thermische uniformiteit behouden blijft. Hierdoor werkt de fotorezyst in elke serie op dezelfde manier.
Wat belangrijk is: De lamp maakt gebruik van korte golflengteninfraroodstraling, waardoor er een hoge stralingsdichtheid wordt gecreëerd en er snel een reactie optreedt op temperatuurveranderingen. Hierdoor wordt de uniformiteit op het niveau van de chip behouden binnen een marge van ±0,1°C. De lamp houdt de gewenste temperatuur vast, zodat er geen overtollige energie wordt verbruikt. De lamp is ook geschikt voor gebruik in schone ruimtes: het kwartsomhulsel, de keramische eindkapjes en de hoogzuivere onderdelen zorgen ervoor dat er minder deeltjes worden gegenereerd. Hierdoor kan de lamp worden gebruikt in ruimtes met een zuiverheidsklasse van 1–100. De output van de lamp blijft gedurende meer dan 5.000 uur consistent, met minder dan 5% afwijking in intensiteit. Dit betekent dat er minder kalibraties en procescontrole nodig zijn.
Voordelen voor de fotorezystverwerking: Consistente verhittingsprofielen zorgen ervoor dat de productkwaliteit hoog blijft. De lamp bereikt snel de gewenste temperatuur, waardoor de cyclustijd verkort wordt. Bovendien blijft de verhittingskamer stabiel, waardoor er minder herwerkzaamheden en afval ontstaat. Er wordt weinig energie verbruikt, omdat de stralingswarmte rechtstreeks naar het gewenste gebied gaat. De lange levensduur van de lamp zorgt er bovendien voor dat er minder onderhoud nodig is.
Praktische tips: Voor een correcte installatie is nauwkeurige optische alignering en stevige bevestiging van essentieel belang. Als dit niet goed gebeurt, kunnen er lokale warmtepunten op de chip ontstaan. Zorg ervoor dat de geometrie van de weerkaatsers overeenkomt met de vorm van de kamer. Ook moet de stroomvoorziening en het thermische beheersysteem goed aangepast zijn aan de vereisten van de lamp. Er zal een korte tijd nodig zijn voordat de lamp op de gewenste temperatuur is – plan je proces daar rekening mee om de beste resultaten te krijgen.
Wij bouwen deze lampen zodat ze voldoen aan de hoge eisen die worden gesteld in de halfgeleiderfabricage. Ze bieden consistente thermische prestaties, een schoon functioneren en een betrouwbare werking, shift na shift.