http://ir-heat-zone.com/nl/tags/bakken/ Recent content in Bakken on Infrared Heating Zone Solutions Hugo nl Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/nl/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/nl/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Uniformiteit fotoresistent baklamp"></p> <p>Tijdens het eerste bakproces wordt het profiel van de fotorezist vastgesteld. Een verschil van 5°C op het gewicht van de <a href="https://o-yate.com">wafer</a> zorgt voor afwijkingen in de CD-waarde, verpest de overlap tussen verschillende lagen en leidt tot kostbare herwerkingswerkzaamheden. We hebben een lamp ontworpen die ervoor zorgt dat de uniformiteit van de fotorezist behouden blijft.</p> <p><strong>Wat technisch belangrijk is</strong> We gebruiken halogeenlampen met korte golflengten, in combinatie met een reflector die is ontworpen om een uniformiteit van ±0,1°C op het niveau van de wafer te bereiken. De ingebouwde pyrometrie zorgt er vervolgens voor dat de temperatuur nauwkeurig wordt geregeld. De lamp is compatibel met schone ruimtes van klasse 1–100, dankzij materialen die weinig gas uitstoten en geen deeltjes produceren. De isolatie van carbonfiber zorgt ervoor dat de warmtestress laag blijft en de temperatuur snel stabiel wordt. De kwartsomhulling kan meerdere keren worden blootgesteld aan thermische cycli. Er kan wel 5.000 uur <a href="https://o-yate.net">achter</a> elkaar worden gewerkt, zonder dat de prestaties meer dan 5% dalen.</p>