FOUP (Front Opening Unified Pod) droger

Tue, 02 Jun 2026 06:06:33 +0800

Op de litho-vloer geeft thermische fout weinig speelruimte. Een FOUP die vocht vasthoudt of in één hoek te warm en in een andere te koud wordt, drijft de photoresist voorbij zijn thermisch budget. Dit zie je niet bij de coater, maar later als lijnbreedte-afwijkingen en scumming. We hebben de FOUP-droger ontwikkeld om die variabiliteit eruit te halen, zodat het procesvenster blijft waar het moet zijn: op de wafer.

Wat telt onder de motorkap
De unit houdt de thermische uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C over de FOUP, met een cleanroom-compatibel warmteprofiel dat droogt zonder oplosmiddelen in de resist te duwen of contaminanten te laten uitgassen. Deeltjesvorming is praktisch nul—materialen en luchtstroming zijn ontworpen voor Class 1–100 cleanrooms. Herhaalbaarheid is ingebakken in de regelkring en de mechanische interface, zodat elke bake-cyclus consistent is, batch na batch. Betrouwbaarheid? Die hangt af van het draaien zonder ongeplande downtime die de lijnbalans verstoort.

Schoendroger verwarming

Wed, 27 May 2026 00:28:13 +0800

Laten we het hebben over de kracht achter de warmte.

We hebben deze nieuwe infraroodverwarmer gebouwd voor plekken zoals openluchtrestaurants—waar het hele doel is om mensen te verwarmen, niet de lege lucht om hen heen.
Het hart ervan is een vermogen van 2500W, aangesloten op een 400V-circuit. En we hebben deze opstelling met opzet gekozen.
Het zit zo: werken op 400V betekent dat het minder stroomsterkte trekt dan een standaard 230V-unit bij hetzelfde wattage. Dat belast je bedrading minder en houdt spanningsverlies tot een minimum, zelfs bij langere kabeltrajecten.
En met een buis van 300 mm wordt al die kracht geconcentreerd in een klein oppervlak. Het levert een serieuze warmteboost precies waar je het nodig hebt.

Droger on Infrared Heating Zone Solutions

FOUP (Front Opening Unified Pod) droger

Schoendroger verwarming

Laten we het hebben over de kracht achter de warmte.