http://ir-heat-zone.com/nl/tags/gevzoneerd/ Recent content in Gevzoneerd on Infrared Heating Zone Solutions Hugo nl Mon, 29 Jun 2026 07:01:25 +0800 http://ir-heat-zone.com/nl/posts/zoned-infrared-heating-module/ Mon, 29 Jun 2026 07:01:25 +0800 http://ir-heat-zone.com/nl/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Gemoduleerd infraroodverwarmingselement"></p> <p>Op de lithografieafdeling kan een verschil van 1°C op het oppervlak van de wafer ertoe leiden dat de dikte van de randen van het patroon in nanometers verandert. Bovendien kan het aanwezig zijn van deeltjes ervoor zorgen dat veel producten beschadigd raken. Daarom is er een infraroodverwarmingssysteem ontworpen dat ervoor zorgt dat de temperatuur binnen de gewenste grenzen blijft.</p> <p><strong>Wat technisch gezien belangrijk is:</strong> De kortegolflengte-infraroodemitters zijn verdeeld over apart te bedienen zones. Hierdoor kan de temperatuur precies worden geregeld om overeen te komen met de behoeften van de wafer. Over het hele oppervlak van de wafer blijft de temperatuur binnen ±0,1°C. Hierdoor kan de <a href="https://henruite.com">bewerking</a> van de fotoresist betrouwbaar worden uitgevoerd. De hardware is geschikt voor gebruik in schone ruimtes van <a href="https://o-yate.com">klasse</a> 1–100 en zorgt er ook voor dat er geen deeltjes zijn. De betrouwbaarheid wordt gemeten, maar niet gegarandeerd: 24/7 bedrijfsduur zonder onverwachte stilstanden. De levensduur van de emitters wordt in de gaten gehouden, zodat de onderhoudsintervallen nauwkeurig kunnen worden bepaald.</p>