Vervanging van hete plaat door infraroodverwarmer

Fri, 19 Jun 2026 05:58:29 +0800

Op de productielijn kan een hete plaat die zelfs maar 0,2°C afwijkt van de gewenste temperatuur, het precieze beheer van de temperatuur van de fotoresist verstoren. Dit kan vervolgens leiden tot problemen met de kwaliteit van de producten. Wafer’s kunnen geen thermische instabiliteit verdragen. Daarom hebben we infraroodverwarmingselementen ontworpen die perfect aansluiten bij de vereisten: geen afwijkingen in temperatuur, betrouwbare resultaten en een constructie die geschikt is voor een schone omgeving.

Wat technisch gezien belangrijk is:
We gebruiken kortegolfinfraroodelementen die de warmte snel overdragen op de plaat. In het actieve gebied is de uniformiteit van de temperatuur ±0,1°C. Van cyclus tot cyclus blijft de temperatuur binnen ±0,5°C, zodat de warmtetoleranties nauwkeurig worden gehandhaafd. De verwarmingselementen zijn gemaakt van kwarts en hoogwaardige keramiek – er zijn geen organische materialen gebruikt. Hierdoor wordt de vorming van deeltjes minimaal gehouden, zodat de omgeving geschikt is voor klasse 1–100. Het controlemechanisme werkt stabiel en met weinig thermische inertie. Dit betekent dat de temperatuur snel terugkeert naar de gewenste waarde na het laden van nieuwe wafer’s, waardoor er minder tijd verloren gaat zonder dat de precisie afneemt.

Heet on Infrared Heating Zone Solutions

Vervanging van hete plaat door infraroodverwarmer