Temperatuur on Infrared Heating Zone Solutions

Temperatuursensor voor wafer hulpmiddel

Mon, 27 Jul 2026 06:52:09 +0800

Hoe voorkom je dat je gereedschappen voor het reinigen van wafer’s beschadigen?
Laten we eerlijk zijn: het plaatsen van IR-verwarminglampen in een chemisch reinigingsgebied is net alsof je met vuur speelt. Als er brandbare vloeistoffen in de buurt zijn, kan één klein vonkje of een lek in de behuizing al tot een ramp leiden.
Wij bouwen onze lampen zodat ze deze spanningen aankunnen, zodat jij ’s nachts geen zorgen hoeft te maken.

Het voorkomen van lekkages
De grootste dreiging is dat chemische dampen in de elektrische contactpunten terechtkomen. Om dit te voorkomen, ‘verzegelen’ we de lampen niet alleen, maar bedekken ze ook met meerdere lagen bescherming. We gebruiken sterke, chemisch bestendige materialen om een barrière te creëren die brandbare gassen niet kunnen doordringen.
Ondanks al deze bescherming, krijg je nog steeds genoeg warmte, omdat we speciale coatings op het kwartsglas gebruiken.

Fabriek voor hoge temperatuursthermische tape

Tue, 30 Jun 2026 05:06:28 +0800

Op de productielijn is het ‘bake’proces van het fotorezyst geen soort ‘opwarmingsproces’. Het is eerder een thermisch proces dat nodig is om de dikte van de lagen te regelen. Een verschil van 0,5°C kan al leiden tot problemen bij het printen; in zulke gevallen ontstaan er oneffenheden aan de zijkanten van de lagen, wat later problemen kan opleveren tijdens het verwijderen van het fotorezyst en het eten van de lagen. We hebben ons hoge-temperatuursysteem ontworpen om dit probleem te voorkomen: het wafer wordt op de gewenste temperatuur gehouden, over de hele oppervlakte heen. Dit gebeurt uur na uur, zonder dat er extra deeltjes of variaties optreden.

Precisietemperatuurfotorezistentverwarmer

Wed, 24 Jun 2026 04:03:53 +0800

Op de lithografie-afdeling is een verschil van 0,5°C in de verhittingstemperatuur al voldoende om een hele lading producten te verpesten. De fotoresist op deze wafers heeft maar weinig ruimte voor temperatuursschommelingen. Als dit niet wordt gerespecteerd, raakt de controle over de dikte van de lijnen verstoord. We hebben daarom een nauwkeurige temperatuurregelaar ontworpen, zodat deze normen steeds worden nageleefd – shift na shift, cyclus na cyclus.

Wat belangrijk is De apparaat gebruikt kortegolf-infraroodlicht met directe verhitting, zodat er weinig thermische vertraging optreedt. De uniformiteit over het oppervlak van de wafers blijft binnen ±0,1°C, terwijl de herhaalbaarheid tussen verschillende runs binnen ±0,05°C ligt. De temperatuurstijging wordt geregeld op 2°C/s, met een overschrijding van minder dan 0,2°C. Dit zorgt ervoor dat de verhittingsschema’s precies volgens de specificaties verlopen. De compatibiliteit met cleanrooms van klasse 1–100 wordt gewaarborgd door materiaal dat weinig gasen afgeeft en een ontwerp dat het aantal deeltjes minimaal houdt. Hierdoor worden er geen defecten veroorzaakt tijdens het verhittingsproces. De heater werkt 24/7, en de levensduur bedraagt meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% intensiteitsveranderingen.