Na stanowisku litograficznym nawet niewielka zmiana temperatury o 1°C może spowodować zmianę szerokości linii na płytkach krzemowych o kilka nanometrów. Ponadto obecność cząstek może zniszczyć dużą ilość produktu. Dlatego też został stworzony moduł grzewczy pracujący w zakresie fal podczerwonych, który zapewnia utrzymanie temperatury w odpowiednim przedziale, właśnie tam, gdzie powinna być.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia
Emiterzy fal krótkich są rozmieszczeni w niezależnie kontrolowanych strefach, dzięki czemu można dostosować temperaturę do specyfikacji płytki krzemowej. Na całej powierzchni płytki jednolitość temperatury wynosi ±0,1°C. Proces wysuszania fotoopornika staje się bardziej precyzyjny – proces ten odbywa się przy bardziej kontrolowanej temperaturze, a straty wynikające z efektów termicznych zmniejszają się. Sprzęt jest przystosowany do pracy w środowiskach klasy czystości 1–100 i zapewnia brak cząstek w powietrzu. Niezawodność sprzętu jest mierzona, a nie gwarantowana: sprzęt może pracować 24/7 bez przerw, a okresy konserwacji są precyzyjnie planowane.
Dlaczego to działa tam, gdzie jest to ważne
Najpierw nakłada się fotoopornik, a potem go wysusza. Jeśli proces wysuszania jest nierównomierny, powstają problemy z przyleganiem materiału do powierzchni płytki, a po przeniesieniu wzoru dochodzi do błędów w procesie etowania. Dzięki kontroli w poszczególnych strefach można dostosować energię na krawędziach płytki do energii w jej centrum, zamiast nadmiernego wysuszania tylko po to, aby pokryć całą powierzchnię płytki. W rezultacie uzyskuje się stałą kontrolę wymiarów kluczowych płytki, mniej konieczności ponownej obróbki oraz stabilną wydajność.
Moduł taż redukuje marnotrawstwo energii, dostarczając ciepło tylko tam, gdzie jest to konieczne. Ponadto szybko wraca do stanu gotowości między poszczególnymi seriami produkcji, dzięki czemu czas cyklu skraca się bez pogorszenia jakości procesu wysuszania.
Czego należy wiedzieć na początku
Instalacja modułu wymaga dostosowania go do mechanicznych i elektrycznych charakterystyk platformy, na której będzie pracować – typu złączy, drogi odprowadzania powietrza itp. Konieczny jest również krok konfiguracji modułu w zależności od specyfiki płytki krzemowej i używanego fotoopornika.
Moduł jest przystosowany do pracy w środowiskach klasy czystości, ale nadal potrzebuje odpowiedniego obiegu powietrza oraz planu konserwacyjnego, aby utrzymać niską liczbę cząstek w powietrzu i stabilną wydajność na dłuższy czas.