Pare de esperar que seu forno funcione: as vantagens do aquecimento por radiação infravermelha sem ozônio
Se você ainda utiliza o método de convecção forçada para o processamento de semicondutores, está, basicamente, gastando metade do seu tempo apenas esperando.
Pense em como isso funciona: você aquece o ar, e depois espera que esse ar aqueça o substrato. É um processo lento, com muitos atrasos em cada fase de aquecimento e resfriamento.
As lâmpadas de radiação infravermelha mudam essa situação. Elas eliminam completamente o intermediário necessário para o aquecimento. Em vez de aquecer todo o ambiente, elas enviam radiação eletromagnética diretamente para o alvo.
É rápido. Muito rápido.
Os tempos de aquecimento caem de minutos para segundos. Quando se trabalha com grandes volumes de produção, esses segundos economizados somam-se, permitindo que mais wafers sejam processados por turno. O fluxo de trabalho torna-se muito mais eficiente.
Mas existem desvantagens nas lâmpadas de onda curta convencionais. Elas emitem radiação em torno de 185 nm, o que afeta as moléculas de oxigênio e gera ozônio. Em uma sala limpa, o ozônio é um problema grave: ele corrói superfícies e danifica componentes sensíveis.
É aí que entram as lâmpadas sem ozônio. Ao usar filamentos modificados ou filtros de quartzo específicos, conseguimos bloquear essas ondas nocivas. Você obtém todo o calor necessário, sem os efeitos negativos causados pelo ozônio. Além disso, não é preciso gastar muito dinheiro em sistemas de purificação do ar.
Para ser honesto: o aquecimento por radiação infravermelha não é uma solução mágica. Como é um método direcional, ele não aquece todas as áreas do componente da mesma forma que o ar. Se o componente tiver uma forma estranha, haverá pontos frios.
Você não pode simplesmente colocar essas lâmpadas em um equipamento de convecção antigo e esperar pelos melhores resultados. É preciso ajustar corretamente a posição das lâmpadas e dos refletores. Se o ponto focal estiver errado, o aquecimento será irregular.
A estrutura necessária para utilizar essas lâmpadas será menor, e a velocidade de aquecimento será muito maior. Mas é preciso ter precisão no layout. Se tudo for feito corretamente, você terá sucesso.