http://ir-heat-zone.com/pt/tags/assar/ Recent content in Assar on Infrared Heating Zone Solutions Hugo pt Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/pt/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/pt/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Lâmpada de secagem para fotorespistores de uniformidade"></p> <p>Na primeira etapa do processo, o perfil do fotoresistente é definido durante o cozimento. Uma variação de 5°C na temperatura do wafer pode causar desvios no valor CD, prejudicar a qualidade da camada aplicada e gerar custos extras com rework. Desenvolvemos uma lâmpada <a href="https://henruite.com">especial</a> para cozimento do fotoresistente, visando eliminar essa incerteza.</p> <p><strong>O que é importante tecnicamente</strong><br> Usamos lâmpadas halógenas de onda curta, localizadas dentro de uma cavidade refletora <a href="https://o-yate.net">projetada</a> para garantir uma uniformidade de temperatura de ±0,1°C em todo o wafer. A tecnologia de pirometria integrada permite controlar as temperaturas com alta precisão, em poucos milissegundos. A lâmpada é compatível com ambientes limpos de classe 1–100, utilizando materiais que emitem pouquíssimos gases e não geram partículas. O isolamento feito de fibra de carbono ajuda a manter a massa térmica baixa e a estabilizar a temperatura rapidamente. Além disso, o revestimento de quartzo resiste aos ciclos térmicos repetidos. Espera-se que a lâmpada funcione por mais de 5.000 horas, com uma queda de eficiência inferior a 5%.</p>