Aquecedor para secagem de wafers de sensores MEMS
Quando seca-se as bolachas de sensores MEMS após uma limpeza química, é necessário usar calor – e isso precisa ser feito rapidamente. Mas aqui está o...
Auditoria energética para secagem de fábricas
Como lidar com quebras de lâmpadas no processo de secagem de wafers
Sejamos honestos: quando uma lâmpada infravermelha quebra em uma fábrica de...
Aquecedor de secagem de wafers pós CMP
Na linha de produção, uma única marca de água após o processo CMP pode destruir um chip que já passou pelo processo de polimento. A secagem do wafer...
Infravermelho vs Convecção para secagem de wafers
No piso da fábrica, uma única micra de água remanescente pode comprometer o rendimento. Fornos de convecção simplesmente não conseguem acompanhar o...
Módulo infravermelho de secagem de fotorresiste
No piso de litografia, uma deriva de meio grau no soft bake do fotoresiste é suficiente para tirar o controle da dimensão crítica (CD) da...
Aquecedor infravermelho para secagem de pastilhas
A pastilha sai do enxágue final, e o relógio começa a contar. Deixe-a descansar tempo demais ou aplique um perfil térmico desigual durante a secagem,...