Прекратите тратить время впустую: почему использование вакуумных инфракрасных нагревателей — это лучший выбор для обработки полупроводников
Если вы до сих пор используете систему циркуляции горячего воздуха для глубокой обработки полупроводников, скорее всего, вы тратите слишком много времени на ожидание.
Переход на вакуумные инфракрасные нагреватели — это не просто «современное усовершенствование». Это совершенно новый способ передачи тепла на поверхность пластины. Подумайте: для передачи тепла с помощью воздуха необходим газ. Но в вакууме такого газа нет. Инфракрасные нагреватели решают эту проблему, используя фотоны для передачи энергии напрямую на поверхность пластины. Не нужен никакой посредник.
Скорость — вот что здесь важно. С помощью горячего воздуха происходит задержка в передаче тепла: сначала нагревается воздух, затем стены, и только потом сама пластина. Это очень медленный процесс. С инфракрасными нагревателями все иначе: тепло достигает цели мгновенно.
Я называю это сокращением времени обработки. Вместо того чтобы ждать, пока камера нагреется, инфракрасная лампа начинает работать сразу после включения. При работе на высокой скорости эти секунды суммируются, что позволяет обрабатывать гораздо больше пластин.
Но нельзя просто использовать любую лампу. Работа в вакууме требует специального оборудования. Мы используем кварцевые корпуса, потому что они могут выдерживать разницу давлений без разрушения. Это необходимо для нормальной работы оборудования.
Самое лучшее — это возможность получить большое количество тепла на небольшой площади. Вы можете направлять энергию точно туда, где находится пластина, без лишней траты энергии на нагрев всей камеры.
Но есть один нюанс: нужно контролировать плотность мощности. Если лампы расположены неравномерно или пластина не вращается, могут возникнуть «горячие точки», которые могут испортить всю партию продукции. Также необходимо настроить контроллеры PID для быстрой реакции на изменения температуры. В противном случае вы можете превысить заданную температуру, что может повредить пластину.
В итоге, при использовании инфракрасных нагревателей можно использовать более маленькие камеры и достигать гораздо более высоких скоростей обработки. Речь идет о достижении нужной температуры за секунды, а не за минуты.
Это компромисс. Вы отказываетесь от простого вентилятора, но взамен получаете точность электромагнитного излучения. Для большинства из нас, занимающихся глубокой обработкой полупроводников, это очень выгодный компромисс.