Температура on Infrared Heating Zone Solutions

Датчик температуры для инструмента для обработки пластин

Mon, 27 Jul 2026 06:50:40 +0800

Как предотвратить несчастные случаи с инструментами для чистки ваферов
Честно говоря, размещение инфракрасных нагревательных ламп в зоне химической очистки – это все равно что играть с огнем. Когда рядом находятся легковоспламеняющиеся растворители, даже малейшая искра или повреждение корпуса может привести к катастрофе.

Мы создаем лампы таким образом, чтобы они могли выдерживать такие нагрузки, чтобы вам не приходилось беспокоиться об этом по ночам.

Препятствование утечкам
Самая большая угроза – проникновение химических паров в электрические контакты лампы. Чтобы этого избежать, мы не просто «закрываем» лампу, а оборачиваем её многослойной защитной оболочкой. Мы используем прочные, химически стойкие материалы для создания барьера, через который легковоспламеняющиеся газы не могут проникнуть.

Производство термопломбы высокой температуры

Tue, 30 Jun 2026 05:06:28 +0800

На производственной линии процесс высушивания фотополимера не является просто этапом разогрева. Это ключевой термический процесс, который определяет точность контроля толщины линий на пластине. Изменение температуры на 0,5°C может привести к смещению диапазона значений, необходимых для правильного формирования структуры. Неравномерное нагревание приводит к образованию наклонных стенок, что в свою очередь влияет на качество последующих операций по обработке пластины. Мы разработали специальную систему термического нагрева, позволяющую поддерживать температуру пластины на нужном уровне на всей её поверхности, час за часом, без появления частиц или других отклонений.

Точный нагреватель для фотополимера с регулировкой температуры

Wed, 24 Jun 2026 04:03:53 +0800

На этапе литографии даже небольшое отклонение температуры в 0,5°C уже может привести к порче всей партии продукции. Фотопроводник на таких пластинах имеет очень строгие требования к температуре; если эти требования не соблюдаться, контроль толщины линий на пластине становится невозможным. Мы разработали точный нагреватель для поддержания стабильной температуры — чтобы она оставалась неизменной за все циклы обработки.

Что важно при работе с фотопроводником
Для нагрева используется коротковолновое инфракрасное излучение с прямым нагревом, что позволяет снизить задержку теплоотдачи. Равномерность температуры по всей поверхности пластины составляет ±0,1°C, а точность повторяемости процесса — ±0,05°C от одного цикла к другому. Ускорение температуры контролируется на уровне 2°C/с, при этом отклонение не превышает 0,2°C. Это позволяет соблюдать заданные параметры процесса обработки. Соответствие стандартам чистых комнат класса 1–100 обеспечивается за счет использования материалов с низким уровнем выбросов газов и специальной конструкции, которая снижает количество частиц в воздухе. Нагреватель работает круглосуточно; срок его службы превышает 5000 часов при стабильной мощности, при этом отклонение интенсивности нагрева составляет менее 5%.