На этапе литографии даже небольшое отклонение температуры в 0,5°C уже может привести к порче всей партии продукции. Фотопроводник на таких пластинах...

На литографическом этаже дрейф полградуса при мягком отжиге фоторезиста достаточно, чтобы вывести контроль критического размера (CD) за пределы...