อินฟราเรดกับการพาความร้อนสำหรับการอบแห้งเวเฟอร์
On the fab floor, a single micron of water left behind can torpedo yield. Convection ovens just can’t keep up with the thermal budget and...
เครื่องทำความร้อนสำหรับสนับสนุนการตัดเวเฟอร์ด้วยเลเซอร์
บนพื้นที่ผลิต การตัดด้วยเลเซอร์เน้นเรื่องการควบคุมความร้อนอย่างเคร่งครัด หากไม่มีการควบคุมนี้ รอยแตกร้าวขนาดเล็กจะเกิดขึ้น รอยเว้าในแนวตัดจะบวมออก...