http://ir-heat-zone.com/tr/tags/birliklilik/ Recent content in Birliklilik on Infrared Heating Zone Solutions Hugo tr Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/tr/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/tr/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Tek tip fotorezist pişirme lambası"></p> <p>İlk pişirme işlemi sırasında, fotoresist profili belirlenir. Wafer üzerindeki 5°C’lik bir değişiklik, CD değerlerini bozar, ürün kalitesini düşürür ve pahalı yeniden iş<a href="https://goldisgood.com">lemlere</a> yol açar. Bu belirsizliği ortadan kaldırmak için özel olarak tasarlanmış bir fotoresist pişirme lambası kullanıyoruz.</p> <p><strong>Teknik Açıdan Önemli Olanlar</strong><br> ±0,1°C seviyesinde wafer düzeyinde homojenlik sağ<a href="https://o-yate.com">lamak</a> amacıyla kısa dalga boylu halojen lambalar kullanılır. Entegre termometreler sayesinde sıcaklıklar milisaniyeler içinde kontrol edilir ve böylece yumuşak ve sert pişirme sıcaklıkları sabit tutulur. Lamba, düşük gaz salımı yapan malzemelerden yapılmış olup, yüzeyinde hiçbir parçacık oluşmaz. Karbon fiber izolasyonu sayesinde ısı yoğunluğu düşük tutulur ve sıcaklık hızla stabil hale gelir. Kuvars kaplaması ise tekrarlanan ısı değiş<a href="https://o-yate.net">imlerine</a> dayanıklıdır. Tam kapasiteyle 5.000 saatten fazla kullanım mümkündür ve performans kaybı %5’in altındadır.</p>