http://ir-heat-zone.com/tr/tags/foto-diren%C3%A7/ Recent content in Foto Direnç on Infrared Heating Zone Solutions Hugo tr Sun, 07 Jun 2026 03:48:07 +0800 http://ir-heat-zone.com/tr/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 07 Jun 2026 03:48:07 +0800 http://ir-heat-zone.com/tr/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Fotoresist kurutma kızılötesi modülü"></p> <p>Lithografi katında, fotoresist yumuşak fırınlama sırasında yarım derece kayma, kritik boyut (CD) kontrolünün tolerans dışına çıkması için yeterlidir. Waferlar yığılır, hurda artar ve hat termal tutarsızlık nedeniyle maliyet yüklenir. Fotoresist kurutma kızılötesi modülümüzü, wafer kurutma, yumuşak fırınlama ve sert fırınlama sürecindeki bu belirsizliği ortadan kaldırmak amacıyla geliştirdik.</p> <p><strong>Kaputun altında önemli olanlar</strong><br> Kısa dalga kızılötesi ışını, quartz-halojen emitör ile çalıştırıyoruz; enerji doğrudan fotoresist tabakasına iletilir. Modül, fırın yüzeyi boyunca wafer seviyesi sıcaklık uniformitesini ±0.1°C içinde tutar, böylece her lokasyon aynı termal bütçeye sahip olur. Temizoda Class 1–100 uyumluluğu, partikül kontrollü bir hazne ve düşük gaz çıkaran malzemelerden kaynaklanır. Sıfır partikül oluşumu bir slogan değil—hava akışı tasarımı ve yarı iletken kontaminasyon standartlarına <a href="https://o-yate.com">uygun</a> yüzey kaplaması ile sağlanır. Tekrarlanabilirlik, kapalı çevrim pirometre ve ramp, soak ve soğutma aşamalarını saniyeden kısa sürelerde stabil tutan reçete kontrollü kontrol sistemi ile garanti altına alınmıştır.</p>