http://ir-heat-zone.com/tr/tags/fotorezist/ Recent content in Fotorezist on Infrared Heating Zone Solutions Hugo tr Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/tr/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/tr/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Tek tip fotorezist pişirme lambası"></p> <p>İlk pişirme işlemi sırasında, fotoresist profili belirlenir. Wafer üzerindeki 5°C’lik bir değişiklik, CD değerlerini bozar, ürün kalitesini düşürür ve pahalı yeniden iş<a href="https://goldisgood.com">lemlere</a> yol açar. Bu belirsizliği ortadan kaldırmak için özel olarak tasarlanmış bir fotoresist pişirme lambası kullanıyoruz.</p> <p><strong>Teknik Açıdan Önemli Olanlar</strong><br> ±0,1°C seviyesinde wafer düzeyinde homojenlik sağ<a href="https://o-yate.com">lamak</a> amacıyla kısa dalga boylu halojen lambalar kullanılır. Entegre termometreler sayesinde sıcaklıklar milisaniyeler içinde kontrol edilir ve böylece yumuşak ve sert pişirme sıcaklıkları sabit tutulur. Lamba, düşük gaz salımı yapan malzemelerden yapılmış olup, yüzeyinde hiçbir parçacık oluşmaz. Karbon fiber izolasyonu sayesinde ısı yoğunluğu düşük tutulur ve sıcaklık hızla stabil hale gelir. Kuvars kaplaması ise tekrarlanan ısı değiş<a href="https://o-yate.net">imlerine</a> dayanıklıdır. Tam kapasiteyle 5.000 saatten fazla kullanım mümkündür ve performans kaybı %5’in altındadır.</p> http://ir-heat-zone.com/tr/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ Wed, 24 Jun 2026 04:03:53 +0800 http://ir-heat-zone.com/tr/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Hassas sıcaklıklı fotoğraf direnci ısıtıcısı"></p> <p>Litografi işlemlerinde, fırın sıcaklığında meydana gelen 0,5°C’lik bir değişiklik bile tüm ürün partisini bozabilir. Bu waferler üzerindeki fotoresistlerin çok hassas bir termal dengeye sahiptir; bu denge bozulursa, çizgi genişliği kontrolü bozulur. Bu nedenle, bu dengeyi korumak için hassas sıcaklık kontrolü sağlayan ısıtıcılar kullanılmıştır.</p> <p><strong>İç çalışma prensipleri</strong><br> Bu cihaz, doğrudan bağlantılı ısıtma yöntemiyle kısa dalga uzunluğundaki kızılötesi ışık kullanır; bu sayede termal gecikme azalır. Wafer üzerindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarında kalır ve tekrarlanabilirlik ise run’dan run’a ±0,05°C arasında olur. Sıcaklık artış hızı 2°C/s olarak kontrol edilir ve aşırı sıcaklık artışı 0,2°C’nin altındadır. Böylece yumuşak ve sert pişirme işlemleri istenen <a href="https://o-yate.net">standartlara</a> uygun şekilde gerçekleştirilir. Düşük gaz salınımı olan malzemeler ve parçacıkları azaltan bir tasarım sayesinde, temiz oda koşulları korunur ve böylece pişirme işlemi herhangi bir kusur oluşturmaz. Isıtıcı 7/24 çalışır ve <a href="https://goldisgood.com">veriler</a>, %5’ten daha az yoğunluk değişimiyle 5.000 saatten fazla stabil çalışabileceğini göstermektedir.</p>