http://ir-heat-zone.com/tr/tags/is%C4%B1sal/ Recent content in Isısal on Infrared Heating Zone Solutions Hugo tr Tue, 30 Jun 2026 05:06:28 +0800 http://ir-heat-zone.com/tr/posts/high-temperature-thermal-tape-fab/ Tue, 30 Jun 2026 05:06:28 +0800 http://ir-heat-zone.com/tr/posts/high-temperature-thermal-tape-fab/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Yüksek sıcaklık termal bant üretimi"></p> <p>Ü<a href="https://o-yate.net">retim</a> tesisinde, fotoresistin ısıtılması bir “ısınma işlemi” değildir. Bu, çizgi genişliğinin kontrol edilmesini sağlayan termal bir işlemdir. 0,5°C’lik bir değişiklik, dozaj aralığını değiştirebilir; düzgün olmayan ısı dağılımları ise eğik duvarlar oluşturur ve bu da daha sonraki işlemlerde sorunlara yol açar. Biz de bu durumu göz önünde bulundurarak yüksek sıcaklıkta çalışabilen bir termal bant sistemi geliştirdik: Wafer’ı tüm yüzeyi boyunca hedef sıcaklıkta tutmak mümkün; ayrıca saatlerce bu işlem uygulanabilir ve hiçbir parça veya değişkenlik oluşmaz.</p> <p><strong>Teknik olarak önemli olanlar:</strong><br> Kısa dalga boylu kızılötesi ısıtma yöntemi ve düşük ısı iletkenliğine sahip bantlar kullanarak, wafer üzerindeki ısı dağılımını ±0,1°C içinde tutuyoruz. Isı artış hızını 3°C/saate kadar kontrol edebiliyoruz; bu sayede ince filmler korunmuş oluyor ve ısı yönetimi daha iyi sağlanıyor. Bant, yüksek sıcaklıklarda bile stabil kalacak şekilde formüle edilmiştir ve Class 1–100 ortamlarında hiçbir parça üretmediği doğrulanmıştır. Farklı makineler arasındaki tekrarlanabilirlik ise ±0,2°C civarındadır; böylece işlem sırasında herhangi bir değişiklik olmaz.</p>