http://ir-heat-zone.com/uk/tags/%D1%84%D0%BE%D1%82%D0%BE%D1%80%D0%B5%D0%B7%D0%B8%D1%81%D1%82/ Recent content in Фоторезист on Infrared Heating Zone Solutions Hugo uk Sun, 07 Jun 2026 03:48:07 +0800 http://ir-heat-zone.com/uk/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 07 Jun 2026 03:48:07 +0800 http://ir-heat-zone.com/uk/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Інфрачервоний модуль для сушіння фоточутливого матеріалу"></p> <p>На цеху літорафії зміщення у пів градуса під час софт-бейку фотоresistu достатнє, щоб вивести контроль критичного розміру (CD) з допусків. Вафлі накопичуються, кількість браку зростає, і лінія витрачає ресурси на компенсацію теплової нестабільності. Ми розробили наш інфрачервоний модуль сушіння фотоresistu, щоб усунути цю невизначеність у процесах сушіння, софт-бейку та хард-бейку.</p> <p><strong>Що важливо всередині</strong></p> <p>Ми використовуємо короткохвильове інфрачервоне випромінювання від кварц-галогенового джерела, яке безпосередньо передає енергію у шар фотоresistu. Модуль підтримує однорідність температури на рівні вафлі з точністю ±0,1°C по всій поверхні запікання, тож кожна зона отримує однаковий тепловий бюджет. Сумісність з класом чистоти приміщення 1–100 забезпечується камерою з контролем часток та матеріалами з низьким рівнем виділення газів. Відсутність генерації часток не є гаслом — це забезпечується проектуванням повітряних потоків та обробкою поверхонь, які відповідають стандартам захисту від забруднень напівпровідників. Повторюваність закріплена за рахунок закритого циклу пірометрії і керування рецептурою, що тримає параметри прогріву, витримки та охолодження зі стабільністю краще за секунду.</p>