Інфрачервоне випромінювання проти конвекції для сушки пластин
На виробничій ділянці навіть мікрон води, що залишився, може суттєво знизити вихід продукції. Конвекційні печі не можуть відповідати тепловому...
Інфрачервоний модуль для сушіння фоточутливого матеріалу
На цеху літорафії зміщення у пів градуса під час софт-бейку фотоresistu достатнє, щоб вивести контроль критичного розміру (CD) з допусків. Вафлі...
Інфрачервоний нагрівач для сушіння пластин
Пластина виходить з фінального ополіскування, і час починає йти. Якщо залишити її надто довго або забезпечити нерівномірний тепловий профіль під час...