http://ir-heat-zone.com/uk/tags/bake/ Recent content in Bake on Infrared Heating Zone Solutions Hugo uk Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/uk/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/uk/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Лампа для випалювання фотопрезисту забезпечує однорідність процесу"></p> <p>Під час першої процедури випалювання фотолаку на поверхні пластини формується певний профіль його розподілу. Зміна температури на 5°C може призвести до зміщення параметрів CD, порушення правильності нанесення фотолаку та марнування дорогих ресурсів на корекцію помилок. Ми створили спеціальну лампу для випалювання фотолаку, яка забезпечує точність контролю температури.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Ми використовуємо галогенні лампи короткої довжини хвилі, розташовані у відбивачі, який забезпечує точність контролю температури на рівні ±0,1°C. Інтегрована система вимірювання температури дозволяє швидко підтримувати необхідну температуру під час випалювання фотолаку. Головка лампи підходить для використання у чистих приміщеннях класу 1–100; матеріали, з яких вона виготовлена, мають низький рівень викидів газів та не створюють частинок під час роботи. Ізоляція з вуглецевих волокон допомагає зменшити теплову масу та швидко стабілізувати температуру. Кварцовий корпус витримує багаторазові цикли нагрівання/охолодження. Очікується термін служби понад 5 000 годин при повній продуктивності, зі зниженням ефективності менше ніж на 5%.</p>