http://ir-heat-zone.com/uk/tags/module/ Recent content in Module on Infrared Heating Zone Solutions Hugo uk Mon, 29 Jun 2026 07:01:25 +0800 http://ir-heat-zone.com/uk/posts/zoned-infrared-heating-module/ Mon, 29 Jun 2026 07:01:25 +0800 http://ir-heat-zone.com/uk/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Модуль інфрачервоного обігріву з зонуванням"></p> <p>На етапі літографії навіть зміна температури на 1°C може призвести до зміни ширини ліній на пластині на кілька нанометрів. Крім того, наявність частинок може знищити велику кількість продукції. Саме тому було створено модуль інфрачервоного нагріву з розділеною системою керування – це дозволяє підтримувати температурний режим у межах необхідних значень.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Інфрачервоні випромінювачі розташовані в окремих зонах, які керуються окремо. Це дозволяє точно контролювати температуру в залежності від характеристик пластини. На всій поверхні пластини однорідність температури залишається в межах ±0,1°C. Процес висушування фотополімеру стає більш прогнозованим; процеси м’якого та жорсткого висушування відбуваються при більш строгому контролі температури. Втрати чутливості пластини через температурні коливання також зменшуються. Обладнання сумісне з умовами чистих зон класу 1–100, а також призначене для зведення до мінімуму кількості частинок. Надійність обладнання оцінюється, а не гарантується: можлива 24/7 робота без перерв, а термін служби випромінювачів контролюється для забезпечення прогнозованої продуктивності.</p> http://ir-heat-zone.com/uk/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 07 Jun 2026 03:48:07 +0800 http://ir-heat-zone.com/uk/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Інфрачервоний модуль для сушіння фоточутливого матеріалу"></p> <p>На цеху літорафії зміщення у пів градуса під час софт-бейку фотоresistu достатнє, щоб вивести контроль критичного розміру (CD) з допусків. Вафлі накопичуються, кількість браку зростає, і лінія витрачає ресурси на компенсацію теплової нестабільності. Ми розробили наш інфрачервоний модуль сушіння фотоresistu, щоб усунути цю невизначеність у процесах сушіння, софт-бейку та хард-бейку.</p> <p><strong>Що важливо всередині</strong></p> <p>Ми використовуємо короткохвильове інфрачервоне випромінювання від кварц-галогенового джерела, яке безпосередньо передає енергію у шар фотоresistu. Модуль підтримує однорідність температури на рівні вафлі з точністю ±0,1°C по всій поверхні запікання, тож кожна зона отримує однаковий тепловий бюджет. Сумісність з класом чистоти приміщення 1–100 забезпечується камерою з контролем часток та матеріалами з низьким рівнем виділення газів. Відсутність генерації часток не є гаслом — це забезпечується проектуванням повітряних потоків та обробкою поверхонь, які відповідають стандартам захисту від забруднень напівпровідників. Повторюваність закріплена за рахунок закритого циклу пірометрії і керування рецептурою, що тримає параметри прогріву, витримки та охолодження зі стабільністю краще за секунду.</p>