لیتھوگرافی کے عمل میں، بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں 0.5°C کا فرق بھی پورے پروڈکشن سیٹ کو بیکار کرنے کے لئے کافی ہے۔ ان ویفروں پر موجود فوٹو ریزسٹ کے لئے درجہ حرارت کا کنٹرول بہت اہم ہے؛ اگر اس کنٹرول میں خرابی ہو جائے، تو لائن ویڈتھ کا کنٹرول بھی خراب ہو جاتا ہے۔ ہم نے ایک درستگی سے کام کرنے والا ہیٹر تیار کیا ہے، تاکہ درجہ حرارت کا کنٹرول برقرار رہ سکے – ہر شفٹ، ہر سائیکل میں۔
درجہ حرارت کا کنٹرول کیوں اہم ہے؟
اس ہیٹر میں شارٹ-ویو انفراریڈ کا استعمال کیا گیا ہے، جس کی وجہ سے حرارتی تاخیر کم رہتی ہے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، جبکہ ہر بار کے عمل میں اس کی درستگی ±0.05°C کے اندر رہتی ہے۔ درجہ حرارت کو 2°C/سیکنڈ کی رفتار سے کنٹرول کیا جاتا ہے، اور اس کی غلطی 0.2°C سے کم رہتی ہے؛ اس طرح سافٹ بیکنگ اور ہارڈ بیکنگ کے عمل منصوبے کے مطابق ہی ہوتے ہیں۔ کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کو پورا کرنے کے لئے کم گیس خارج کرنے والے مواد اور ایسا ڈیزائن استعمال کیا گیا ہے جس سے ذرات کی تعداد کم رہتی ہے؛ اس طرح بیکنگ کے عمل سے کوئی نقصان نہیں ہوتا۔ یہ ہیٹر 24/7 کام کرتا ہے، اور اس کی زندگی کا دورانیہ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ ہے، اور اس کی کارکردگی میں 5% سے بھی کم کمی ہوتی ہے۔
حقیقت یہ ہے کہ: فوٹو ریزسٹ کی پروسیسنگ میں، درجہ حرارت براہ راست اہم پیمائشوں اور چپکنے کی صلاحیت پر اثر ڈالتا ہے۔ جب درجہ حرارت کا کنٹرول درست رہتا ہے، تو پروڈکشن کے معیارات برقرار رہتے ہیں، اور پروسیس کی درستگی برقرار رہتی ہے۔ اس کا مطلب یہ ہے کہ کم ورک وراؤنڈ ہوتا ہے، پروڈکشن کی شرح مستحکم رہتی ہے، اور منصوبہ بندی بھی درست رہتی ہے۔
تیز رفتار کنٹرول اور درستگی کی وجہ سے توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، اور کم ذرات کی وجہ سے کلین روم کے معیارات برقرار رہتے ہیں۔ اس طرح پروسیس کی درستگی برقرار رہتی ہے، لائن ویڈتھ مستحکم رہتی ہے، اور پروسیس کا وقت بھی منصوبے کے مطابق ہی رہتا ہے۔
چند عملی نکات: انسٹالیشن کے لئے مضبوط تھرمل کپلنگ اور صاف انٹرفیس ضروری ہے؛ اگر فکسچر مناسب نہ ہوں یا کنٹیکٹ خراب ہو، تو یکسانیت متأثر ہو جاتی ہے۔ یہ ہیٹر معیاری چک انٹرفیسوں کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن پھر بھی آپ کو اپنے چیمبر کی ڈیزائن اور ہوا کے بہاؤ کے مطابق اس کی جانچ کرنی ہوگی۔
پروفائل کو معلوم کرنے اور سیٹپوائنٹس کو درست کرنے کے لئے ایک مختصر ٹیسٹ رن کرنا ضروری ہے۔ جب یہ ٹھیک طرح سے سیٹ ہو جائے، تو یہ یونٹ فیکٹری کے مطلوبہ معیارات کے مطابق کام کرتا ہے۔