http://ir-heat-zone.com/vi/tags/cmp/ Recent content in CMP on Infrared Heating Zone Solutions Hugo vi Sat, 20 Jun 2026 05:44:40 +0800 http://ir-heat-zone.com/vi/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:44:40 +0800 http://ir-heat-zone.com/vi/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Lò sấy wafer sau quy trình CMP"></p> <p>Trong quy trình sản xuất, chỉ cần có một vết nước sau bước CMP thôi cũng đủ để làm hỏng chiếc wafer đã được mài nhẵn. Việc sấy khô wafer sau bước CMP không phải là điều tùy chọn; đó là bước bắt buộc trong quy trình sản xuất.</p> <p>Các thiết bị sấy khô phải được thiết kế sao cho không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào, đồng thời đảm bảo độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer. Độ chính xác của quy trình sấy khô cũng rất quan trọng, để đảm bảo tính nhất quán giữa các lần sản xuất.</p>