http://ir-heat-zone.com/vi/tags/m%E1%BA%B7t-tr%C6%B0%E1%BB%9Bc/ Recent content in (Mặt Trước on Infrared Heating Zone Solutions Hugo vi Tue, 02 Jun 2026 06:06:33 +0800 http://ir-heat-zone.com/vi/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Tue, 02 Jun 2026 06:06:33 +0800 http://ir-heat-zone.com/vi/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Máy sấy FOUP (Buồng Đơn Thống Nhất Mở Phía Trước)"></p> <p>Trên sàn litho, sai số nhiệt không cho phép nhiều sai lệch. Một FOUP giữ ẩm hoặc nóng ở một góc trong khi lạnh ở góc khác sẽ đẩy photoresist vượt quá giới hạn nhiệt cho phép. Bạn không nhìn thấy điều này ở bước phủ lớp—mà chỉ thấy nó sau đó dưới dạng biến động độ rộng đường và hiện tượng scumming. Chúng tôi thiết kế máy sấy FOUP để loại bỏ sự biến động đó, giúp cửa sổ quy trình giữ ổn định đúng vị trí: trên wafer.</p>