Máy sấy FOUP (Buồng Đơn Thống Nhất Mở Phía Trước)

Trên sàn litho, sai số nhiệt không cho phép nhiều sai lệch. Một FOUP giữ ẩm hoặc nóng ở một góc trong khi lạnh ở góc khác sẽ đẩy photoresist vượt quá...