http://ir-heat-zone.com/zh/tags/%E4%B8%80%E8%87%B4%E6%80%A7/ Recent content in 一致性 on Infrared Heating Zone Solutions Hugo zh Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/zh/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/zh/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="均匀性光刻胶烘烤灯"></p> <p>在第一步烘烤过程中，光阻的厚度会被设定下来。如果晶圆表面的温度波动达到5°C，那么就会导致CD值出现偏差，进而影响后续的工艺流程，同时还会造成昂贵的返工成本。我们设计的这种光阻烘烤装置，就是为了消除这种不确定性。</p>