http://ir-heat-zone.com/zh/tags/%E5%85%89%E5%88%BB%E8%83%B6/ Recent content in 光刻胶 on Infrared Heating Zone Solutions Hugo zh Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/zh/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/zh/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="均匀性光刻胶烘烤灯"></p> <p>在第一步烘烤过程中，光阻的厚度会被设定下来。如果晶圆表面的温度波动达到5°C，那么就会导致CD值出现偏差，进而影响后续的工艺流程，同时还会造成昂贵的返工成本。我们设计的这种光阻烘烤装置，就是为了消除这种不确定性。</p> http://ir-heat-zone.com/zh/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 07 Jun 2026 03:48:07 +0800 http://ir-heat-zone.com/zh/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="光刻胶干燥红外模块"></p> <p>在光刻车间，光刻胶软烘烤的半度漂移足以使关键尺寸（CD）控制超出规格。晶圆堆积，废品增加，生产线因热不一致而受到损失。<a href="https://henruite.com">我们构建的</a>光刻胶干燥红外模块旨在消除晶圆干燥、软烘烤和硬烘烤过程中的不确定性。</p> <p><strong>底层重要因素</strong> 我们使用石英卤素发射器运行短波红外线，将能量直接传递到光刻胶层。该模块在烘烤面上保持晶圆级温度均匀性，精度为±0.1°C，因此每个点获得相同的热量预算。洁净室1-100级兼容性来自于受控颗粒室和低气体释放材料。零颗粒生成并非口号——它通过气流设计和符合半导体污染标准的表面处理得以实现。重复性通过闭环测温和基于配方的控制锁定，保持升温、浸泡和冷却的亚秒稳定性。</p>