http://ir-heat-zone.com/zh/tags/%E5%B8%96%E5%AD%90/ Recent content in 帖子 on Infrared Heating Zone Solutions Hugo zh Sat, 20 Jun 2026 05:44:41 +0800 http://ir-heat-zone.com/zh/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:44:41 +0800 http://ir-heat-zone.com/zh/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="CMP后晶圆干燥加热器"></p> <p>在芯片制造过程中，CMP处理后的任何一点水分都会导致那些已经通过抛光工序的芯片报废。因此，CMP处理后的晶圆干燥环节并非可有可无的，而是至关重要的步骤。</p> <p>如果加热器的工作状态不稳定，那么晶圆表面的温度均匀性就会受到影响。表面张力会导致晶圆表面出现条纹，而这些缺陷会直接影响到后续的光刻工艺。我们设计的CMP后干燥系统正是基于这一实际情况：确保不产生任何颗粒物，同时保持晶圆各处的温度在±0.1°C范围内，且其稳定性能够保持一致。</p>