লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, ওয়েফারের তাপমাত্রায় ১°C এর পরিবর্তনই ওয়েফারের লাইনওয়েডথকে ন্যানোমিটার পরিমাণে পরিবর্তন করে দেয়। আর কোনো কণার উপস্থিতি...

On the lithography floor, a half-degree drift in photoresist soft bake is enough to push critical dimension (CD) control out of spec. Wafers back up,...