
Warum sollte man die Luft erhitzen, wenn man den Chip direkt erhitzen kann?
Die meisten Halbleiterfabriken nutzen immer noch Öfen mit gezwungener Luftzirkulation. Das ist ein langsamer Prozess: Zuerst wird die Luft erhitzt, anschließend erwärmt diese wieder den Raum – und erst nach längerer Zeit wird der Chip endlich warm. Es vergehen viele Stunden bis zum gewünschten Ergebnis.
Wir bevorzugen Infrarotheizer – denn sie eliminieren den Zwischenring in diesem Prozess.
Es geht um Zeit.
Gezwungene Luftzirkulation ist langsam. Infrarotheizer hingegen nutzen elektromagnetische Strahlung, um das Substrat direkt zu erwärmen. Anstatt den ganzen Raum zu erwärmen, wird nur die betroffene Stelle erwärmt. Dadurch werden Stunden des Wartezeits reduziert – auf Minuten. In einer Fabrik mit hohem Produktionsvolumen bedeutet das eine enorme Ersparnis von Zeit.
Das Problem in Reinräumen
Wer schon einmal in einem Reinraum war, weiß, dass sich bewegende Luft meist als Problem erweist. Lüfter erzeugen Staub und Turbulenzen – das ist chaotisch.
Infrarotheizer hingegen bleiben einfach dort, wo sie sind. Keine Lüfter, keine Bewegung der Luft – keine Partikel, die den Chip beschädigen könnten. Um alles noch sauberer zu halten, verwenden wir Quarzkapseln. So müssen Sie sich keine Sorgen um seltsame Gase oder Partikel machen, die die Herstellung beeinträchtigen könnten.
Die Nachteile (denn es gibt immer welche)
Infrarotheizer sind zwar nicht zauberhaft, aber sie arbeiten in Richtungen. Wenn Ihre Bauteile tiefe Rillen oder komplexe Formen haben, entstehen Probleme – das Licht kann diese Stellen einfach nicht erreichen. Man kann also keine Infrarotlampe einfach in einen alten Konvektionsofen stecken und damit fertig sein. Man muss die Wärmezonen sorgfältig planen, damit alles richtig funktioniert.
Außerdem gibt es noch das Problem der Überhitzung. Hochleistungs-Infrarotheizer geben enorme Mengen an Energie ab. Wenn man auf Kühlkörper oder Wärmeableiter verzichtet, kann das dazu führen, dass der Rahmen verformt wird oder die Thermsensoren ausfallen.
Da Infrarotheizer die gewünschten Temperaturen viel schneller erreichen als Luft, empfehlen wir immer den Einsatz von PID-Reglern sowie Thermoelementen mit schneller Reaktionszeit. Dadurch wird verhindert, dass die Temperatur über das Ziel hinausgeht und das Produkt beschädigt wird.