در کارخانههای لیتوگرافی، فرآیند گرم کردن فوتورزیست نوعی «گرمشدن اولیه» نیست؛ بلکه یک مرحله حرارتی است که کنترل عرض خطوط را تضمین میکند. هرگونه تغییر ۰.۵ درجه سانتیگرادی در دما، باعث تغییر بازه دوزدهی ماده فوتورزیست میشود؛ همچنین، وجود مناطق گرم ناهمگن، باعث ایجاد دیوارههای شیبدار در سطح ویفر میشود که در مراحل بعدی، مشکلاتی را ایجاد خواهد کرد. ما سیستم نوار حرارتی با دمای بالا را برای رفع این مشکلات طراحی کردهایم؛ این سیستم، ویفر را در دمای مورد نظر نگه میدارد و این کار را ساعت به ساعت، بدون ایجاد هیچ گونه تغییرات، انجام میدهد.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟ ما از گرمایش با امواج مادون قرمز کوتاهموجی استفاده میکنیم؛ همچنین از نوارهایی با جرم حرارتی پایین استفاده میکنیم تا یکنواختی سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود. میتوانید نرخ افزایش دما را تا ۳ درجه سانتیگراد در ثانیه کنترل کنید؛ این کار از ضرر رسیدن به لایههای نازک وفیبر جلوگیری کرده و کنترل دما را تسهیل میکند. این نوارها برای کار در دماهای بالا و جدا شدن بدون ایجاد ذرات طراحی شدهاند؛ همچنین، این نوارها در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰، هیچ ذرهای تولید نمیکنند. تکرارپذیری این فرآیند در میان ماشینهای مختلف، در محدوده ±۰.۲ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین، با افزایش مقیاس تولید، بازه دوزدهی ماده فوتورزیست تغییر نخواهد کرد.
در خطوط لیتوگرافی، به پروفایلهای گرمایشی یکنواخت نیاز است؛ چرا که این پروفایلها باید در هر شیفت، هر سری تولید و هر ماشین یکسان باشند. سیستم نوار حرارتی، تماس حرارتی یکنواخت بین ویفر و صفحه گرم را تضمین میکند؛ این تماس یکنواخت، به کاهش اثرات بازتابی و ایجاد گلولههای سطحی کمک میکند. نتایج این کار در کیفیت تولید مشهود است: توزیع دقیقتر CD، کاهش تعداد بازسازیها پس از بررسی، و کاهش مقدار فیبر باقیمانده در لبههای ویفر.
همچنین، این سیستم باعث کاهش هزینههای انرژی میشود؛ زیرا امواج مادون قرمز تنها ناحیه مورد نظر را گرم میکنند. همچنین، زمانی که نیاز به تعویض مواد مصرفی باشد، روند آن ساده و قابل پیشبینی خواهد بود؛ بنابراین، مشکلات غیرمنتظره کمتر خواهد بود.
چند نکته مهم که باید در نظر گرفت: شیمی این نوارها با فوتورزیستها و حلالهای استاندارد سازگار است؛ اما ممکن است در معرض بازدارندههای قوی، حساسیت نشان دهد. پیش از افزایش حجم تولید، باید فرآیند تمیزکاری پس از گرم کردن را آزمایش کنید.
نصب این سیستم نیز به مطابقت جیومتری چاپگر و الفا انتشار حرارتی سطح پشتی ویفر بستگی دارد. ما روشهای کالیبراسیونی برای پلتفرمهای رایج ارائه میدهیم تا این یکنواختی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد از همان روز اول حفظ شود.