ماژول گرمایش مادون قرمز با مناطق تعیینشده
در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دما در حد ۱ درجه سانتیگراد میتواند باعث تغییر عرض خطوط روی ویفر شود؛ همچنین، وجود ذرات ناخواسته میتواند منجر به از بین...
ماژول مادون قرمز خشککردن فوتورزیست
در سالن لیتوگرافی، انحراف نیم درجهای در نرمپخت (soft bake) رزین حساس به نور کافی است تا کنترل ابعاد بحرانی (CD) را خارج از محدوده مشخصات نگه دارد....