چرا باید هوا را گرم کنیم، در حالی که میتوانیم مستقیماً ویفر را گرم کنیم؟
بیشتر خطوط تولید نیمههادی هنوز از فرهای با جریان هوای مجبوری استفاده میکنند. این روش کند است؛ ابتدا هوا گرم میشود، سپس هوا، محفظه را گرم میکند؛ و در نهایت، اگر خوششانس باشیم، ویفر گرم خواهد شد. این روش نیاز به صبر زیادی دارد.
ما از گرمکنهای مادون قرمز استفاده میکنیم؛ زیرا آنها میتوانند از وجود واسطهها جلوگیری کنند.
موضوع، زمان است.
جریان هوای مجبوری کند است؛ اما گرمکنهای مادون قرمز متفاوت هستند؛ آنها از تابش الکترومغناطیسی برای گرم کردن مستقیم سطح ویفر استفاده میکنند. به جای گرم کردن کل اتاق، فقط سطح مورد نظر گرم میشود.
این روش، زمان لازم برای گرم کردن ویفر را از ساعتها به دقایق کاهش میدهد. در تولیدات با حجم زیاد، کاهش ۲۰ دقیقه از زمان گرم کردن، فقط یک مزیت کوچک نیست؛ بلکه یک پیروزی بزرگ برای بهرهوری روزانه است.
مشکلات اتاقهای تمیز
اگر تا به حال در یک اتاق تمیز بودهاید، میدانید که جریان هوا معمولاً مشکلساز است؛ فنها گرد و غبار را به هوا میافزایند و باعث ایجاد تلاطم در هوا میشوند. گرمکنهای مادون قرمز، هیچ جریان هوایی ایجاد نمیکنند؛ بنابراین نیازی به نگرانی درباره گازهای عجیب یا ذراتی که ممکن است ویفر را خراب کنند، نیست.
معایب (چون همیشه معایبی وجود دارد)
گرمکنهای مادون قرمز، جادویی نیستند؛ آنها فقط در یک جهت عمل میکنند. اگر قطعات شما دارای شیارهای عمیق یا اشکال پیچیدهای باشند، ممکن است مشکلاتی پیش بیاید؛ یعنی اگر نور نتواند به آن قسمت برسد، آن قسمت گرم نخواهد شد. نمیتوانید فقط یک لامپ مادون قرمز را در یک فر قدیمی قرار دهید و انتظار داشته باشید که کار انجام شود؛ بلکه باید مناطق گرمایی را به درستی تعیین کنید.
همچنین، گرمکنهای مادون قرمز، انرژی زیادی را به قطعات وارد میکنند؛ اگر از سیستمهای خنککننده مناسب استفاده نکنید، ممکن است قطعات دچار تغییر شکل شوند یا سنسورهای حرارتی دچار مشکل شوند.
از آنجایی که گرمکنهای مادون قرمز میتوانند دمای مورد نظر را خیلی سریعتر از هوا ایجاد کنند، ما همیشه پیشنهاد میکنیم از کنترلکنندههای PID و ترموکوپلهای با واکنش سریع استفاده کنید؛ این کار از فراتر رفتن از دمای مورد نظر و خراب شدن قطعات جلوگیری میکند.