در فرآیند لیتوگرافی، حرارت ملایمی با دمای ۹۵ درجه سانتیگراد اعمال میشود؛ حتی کمترین تغییر در این دما نیز میتواند کنترل ابعاد مهم را مختل کند و منجر به ایجاد ناخالصیهایی در سطح ویفر شود. استفاده از لامپ گرمایشی مادون قرمز دولولهای، راهحل مناسبی برای جلوگیری از این تغییرات است؛ زیرا این لامپ، گرمای سریعی را به ویفر منتقل کرده و یکنواختی حرارتی را حفظ میکند؛ در نتیجه، رفتار فوتورزیست در هر بار استفاده یکسان خواهد بود.
نکات مهم درباره این لامپ:
این لامپ از عناصر مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکند؛ این امر باعث ایجاد چگالی گرمایی بالا و پاسخ سریع حرارتی میشود. این لامپ، یکنواختی حرارتی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ همچنین، در طول فرآیندهای گرمایشی، دمای مورد نظر حفظ میشود. استفاده از پوشش کوارتزی، درپوشهای سرامیکی و اجزای با خلوص بالا، باعث کاهش تولید ذرات میشود؛ بنابراین این لامپ برای استفاده در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است. خروجی این لامپ در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، کمتر از ۵٪ تغییر میکند؛ این امر به معنای کمتر بودن نیاز به کالیبراسیون و کنترل فرآیند است.
فواید استفاده از این لامپ در فرآیند فوتورزیست:
وجود الگوهای گرمایشی یکنواخت، باعث حفظ بازدهی فرآیند میشود. این لامپ به سرعت به دمای مورد نظر میرسد، زمان فرآیند را کاهش میدهد و محیط گرمایشی را پایدار نگه میدارد؛ در نتیجه، نیاز به تولید مجدد واحدهای تولید شده کمتر میشود. مصرف انرژی نیز کمتر است؛ زیرا گرمای تولید شده مستقیماً به ویفر منتقل میشود و هدررفت انرژی کمتر است. همچنین، زمان استفاده طولانی از این لامپ، باعث کاهش هزینههای تعمیراتی میشود. برای مراحل تمیز کردن و خشک کردن ویفر که نیاز به گرمای کنترلشده دارند، این دقت باعث ایجاد سطحی با انرژی یکنواخت و زاویه تماس مناسب میشود.
نکات عملی:
نصب این لامپ نیازمند تطبیق دقیق اجزای آن است؛ اگر این کار به درستی انجام نشود، نقاط گرم محلی روی ویفر ایجاد خواهد شد. هنگام نصب لامپ، باید بافت منعکسکننده آن با ابعاد محفظه هماهنگ شود؛ همچنین، منبع تغذیه و سیستم کنترل حرارتی نیز باید با شرایط فرآیند هماهنگ باشد. انتظار داشته باشید که لامپ برای رسیدن به دمای استاندارد، مدت کوتاهی زمان نیاز داشته باشد؛ بنابراین برنامهریزی فرآیند گرمایشی باید با این موضوع هماهنگ باشد تا بهترین نتایج حاصل شود.
ما این لامپها را طوری طراحی کردهایم که مطابق با استانداردهای تولید نیمههادیها عمل کنند؛ عملکرد حرارتی یکنواخت، عملکرد پاکیزه و استقامت طولانیمدت، از ویژگیهای این لامپهاست.