בקומת הליתוגרפיה, סטייה של חצי מעלות בתהליך האפייה הרכה של הפוטורסיסט מספיקה כדי לדחוף את בקרת המידות הקריטיות (CD) מחוץ למפרט. הפלטות מצטברות, פסולת עולה, והקו משלם על חוסר עקביות תרמית. בנינו את מודול הייבוש באינפרא אדום לפוטורסיסט שלנו כדי להוציא את חוסר הוודאות מייבוש הפלטות, אפייה רכה ואפייה קשה.
מה שחשוב מתחת למכסה
אנו מפעילים אינפרא אדום קצר עם מפיץ קוורץ-הלוגן, זורקים אנרגיה ישירות לתוך שכבת הפוטורסיסט. המודול שומר על אחידות טמפרטורת הפלטה ב±0.1°C על פני משטח האפייה, כך שכל אתר מקבל את אותו תקציב תרמי. תא נקי בדרגת Class 1–100 מגיע מהתא המנוהל על ידי חלקיקים וחומרים בעלי פליטת גזים נמוכה. אפס ייצור של חלקיקים אינו סלוגן - הוא נאכף על ידי עיצוב זרימת האוויר וגימור פני השטח שעומד בסטנדרטים של זיהום חומרים חצי-מוליכים. חזרתיות ננעלת עם פיירומטריה במעגל סגור ובקרת מתכונים ששומרת על עלייה, ספיגה וקירור עם יציבות של פחות משנייה.
הנה העניין: בניקוי ובייבוש הפלטות, האינפרא אדום מחמם מהר ואחיד, מקצר את מחזור החום ללא עיכובים או אזורי חום.
לאפייה רכה, זה אומר שהמסיס יוצא מהפוטורסיסט במהירות ובאחידות, כך שההדבקות משתפרת והווריאציה של טיפות השוליים יורדת. במהלך האפייה הקשה, זה מתקן את התמונה מבלי להחמם את השכבות שמתחת, כך שהחפיפה נשמרת הדוקה.
התגמול הוא פחות תיקונים, הפצת CD הדוקה יותר, ותשואה שניתן לסמוך עליה. השימוש באנרגיה יורד כי האינפרא אדום מחמם את היעד, ולא את הציוד שסביבו. האמינות נמדדת בעבודת 24/7 עם חלונות תחזוקה מתוכננים, ולא בתקלות בלתי צפויות.
המודול מתמקד במסילות הציפוי/אפייה הקיימות, אך הסבירות לאליינמנט היא גבוהה - מיקום תת-מילימטרי נדרש כדי לשמור על האחידות. תכננו עבור כוח וקירור בדירוג תא נקי; המפיץ פועל בטמפרטורות גבוהות, וניהול תרמי משפיע ישירות על יציבות הנקודת הגדר.
העברת המתכון היא פשוטה, אך כל שכבת פוטורסיסט מתנהגת אחרת. ודאו את פרופילי האפייה על פלטות מוצר קודם, ואז נעלו את הפרמטרים במערכת הבקרה כך שהביצוע יישאר עקבי.