מודול חימום באינפרא אדום בעל אזורי חימום מוגדרים
במסגרת תהליך הליתוגרפיה, שינוי של 1 מעלה צלזיוס בטמפרטורה של הציליד יכול לגרום לשינוי ברוחב הקווים ברמה של ננומטרים; בנוסף, עלייה פתאומית ברמת...
מודול אינפרא אדום ליבוש פולימר פוטו רעיל
בקומת הליתוגרפיה, סטייה של חצי מעלות בתהליך האפייה הרכה של הפוטורסיסט מספיקה כדי לדחוף את בקרת המידות הקריטיות (CD) מחוץ למפרט. הפלטות מצטברות, פסולת...