בתהליך הליתוגרפיה, חימום בטמפרטורה של 95°C עלול לגרום לשינויים של חצי מעלה בלבד, דבר שפוגע בשליטה בממדים החיוניים של הווה-טסט. זה עלול לגרום לבעיות לאחר תהליך הפיתוח. הפתרון הטוב ביותר הוא שימוש בנורה לחימום באינפרא-אדום עם שתי צינורות – כך נוצרת חום מהיר ואחיד, והפוטורזיסט מתנהג באופן אחיד בכל פעם.
מה חשוב באמת? הנורה פועלת באמצעות אלמנטים של אינפרא-אדום בעלי גל ארוך, מה שמאפשר חום אחיד ותגובה מהירה. היא מאפשרת שליטה בטמפרטורה ברמה של ±0.1°C, ושומרת על יציבות הטמפרטורה במהלך תהליך החימום. כך נמנעים שינויים באיכות הווה-טסט. הנורה מתאימה לשימוש בחדרים נקיים – המעטפת שלה עשויה קוורץ, והחלקים האחרים עשויים חרסינה, מה שמפחית את ייצור החלקיקים. הנורה יכולה לפעול באופן עקבי למשך 5,000 שעות ויותר, עם שינוי של פחות מ-5% בעוצמת החום – דבר שמפחית את הצורך בכיולים ובשליטה בתהליך.
היתרונות בתהליך עיבוד הפוטורזיסט: פרופילי חימום אחידים הם מה שמבטיח איכות גבוהה של הווה-טסט. הנורה מגיעה לטמפרטורה הרצויה במהירות, מקצרת את זמן העיבוד ושומרת על יציבות הטמפרטורה בחדר החימום. כך נמנעים תיקונים ובזבוז של חומרים. צריכת האנרגיה נמוכה, מכיוון שהחום נשלח ישירות למטרה, עם מינימום בזבוז. חיי השירות הארוכים מפחיתים את הצורך בחלפים ובתחזוקה. בשלבי ניקוי וייבוש הווה-טסט, הדיוק הזה מאפשר שליטה באנרגיה הפניים של השטח ובזווית המגע, מה שמסייע בשליטה על התהליך.
כמה הערות פרקטיות: ההתקנה דורשת התאמה מדויקת של הנורה למערכת, כדי להבטיח תפקוד איכותי. אם ההתקנה לא תהיה מדויקת, עלולים להיווצר אזורים חמים על הווה-טסט. כדי להבטיח תוצאות טובות, יש להתאים את גאומטריית המחזיר של הנורה למבנה החדר, ולוודא שמערכת האספקת החשמל והשליטה בטמפרטורה מתאימות. יש לצפות לתקופת התאמה קצרה לפני שהנורה תפעל באופן יציב – יש לתכנן את תהליך החימום בהתאם.
אנו מייצרים את הנורות האלה בהתאם לדרישות תעשיית השבבים. תפקוד תרמי אחיד, פעולה נקייה ויציבות לאורך זמן – כל אלה הם היתרונות של הנורות האלה.