בשלב זה, מתקבעת פרופיל הפוטורזיסט במהלך החימום הראשון. שינוי של 5°C בטמפרטורה על פני הוופר עלול לגרום לשינוי ב-CD, לפגיעה באיכות החיבורים בין השכבות השונות, ולבזבוז של זמן וחומרים יקרים. אנו פיתחנו מנורות חימום שמבטיחות אחידות בטמפרטורה, כדי לוודא שלא יהיו שינויים לא רצויים.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים במנורות הלוגן בעלות גל ארוך, המותקנות בתוך חלל מחזיר אור, כך שניתן לשמור על אחידות של ±0.1°C בטמפרטורה על פני הוופר. שימוש בטכנולוגיית פיורומטריה מאפשר שליטה מדויקת בטמפרטורה, וכך ניתן לשמור על טמפרטורות קבועות במהלך תהליך החימום. ראש המנורה מתאים לחדרי עבודה נקיים מסוג Class 1–100, והוא עשוי מחומרים שאינם פולטים גזים, ואינם יוצרים חלקיקים במהלך השימוש. הבידוד בדמות סיבי פחמן מונע אגירת חום, ומאפשר יציבות טמפרטורה מהירה. ניתן לצפות לעבודה של 5,000 שעות ברצף, עם ירידה של פחות מ-5% בביצועים.
למה זה עובד כאן? המכשיר מאפשר ייבוש הוופר, חימום הפוטורזיסט, עיבוד החומרים וניקוי הוופר – כל זאת בלי צורך להחליף כלים. האחידות הגבוהה בטמפרטורה מפחיתה את הבעיות שנוצרות בקצוות הוופר, ומשפרת את היעילות של תהליך הייצור. היכולת לשלוט בטמפרטורה במהירות מקצרת את זמן החימום, מפחיתה את שימוש האנרגיה ומשפרת את הקצב של תהליך הייצור. חלון הפעולה של המכשיר מתרחב, מכיוון שהטמפרטורה נשלטת בצורה מדויקת, ולא על סמך השערות.
דברים שכדאי לדעת: המנורה תואמת לממשקים סטנדרטיים, אך גאומטריית המחזיר אור חייבת להתאים לגודל הוופר ולפרופיל שלו. ייתכן שיהיה צורך בתקופת התאמה קצרה כדי לשלוט בטמפרטורה ולוודא שהיא תהיה קבועה בכל שלבי התהליך. פעולה בטמפרטורות גבוהות מדי עלולה לקצר את חיי המנורה; אנו ממליצים לשמור על טמפרטורה של פחות מ-650°C כדי להבטיח אמינות לאורך זמן.