IRランプが壊れる心配はもうしなくて済みます。
高負荷のファブでは、IRランプが爆発するというのは単なる面倒な問題ではありません。それは悪夢そのものです。一度爆発すれば、至る所にガラスの破片やハロゲンガスが散乱します。すると、大量のシリコンウェーハが廃棄処分になり、週末をその後片付けに費やさなければなりません。
私たちは、そうした事態が起きないように、クリーンルーム用のベンチランプを特別に設計しました。
破片を内部に閉じ込める
私たちが採用している方法は、石英管を高純度の石英製のケースや、特殊な耐衝撃コーティングで覆うことです。これはまるで安全ネットのようなものです。もし内部のフィラメントが壊れたり、熱 Shockによって管が割れても、外側の層がすべてを受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハにガラスの破片が当たることはありません。もちろん、この追加の層のおかげで熱伝達効率がわずかに低下することはありますが、安心感のためにはそれだけの価値があります。
熱対策
ほとんどの場合、ランプが爆発するのは「ホットスポット」や急激な電圧の変動が原因です。これを解決するために、私たちは正確な電極を使用し、電流をフィラメント全体に均等に分布させます。これにより、局所的な過熱が起きることはありません。
しかし、私たちにできることには限界があります。これらのランプを使用する際は、安定したPIDコントローラーを併用することが重要です。もし電源の電圧が不安定だと、石英管が損傷し、ランプが予想よりも早く壊れてしまいます。
正しく設置する
私たちは標準的なコネクタを使用しているので、すべてがしっかりと接続されます。これにより、端子部分での電気的な放電が防がれ、心配するべき点が一つ減ります。
もう一つのアドバイス：配線する際は優しく行うことです。支持構造が石英管を圧迫しないように注意してください。少しでも圧力がかかると、熱くなった時に大惨事になりかねません。
また、これらのランプは大量の熱を放出します。ベンチの冷却性能が十分かどうかを確認してください。そうでないと、筐体が変形してしまう可能性があります。