加熱中にウェーハをきれいな状態に保つために
もし、クラス100のクリーンルームで作業を行っているなら、その悩みはよく知っているはずです。ほんのわずかなほこりやガスが混入するだけで、製品全体が台無しになってしまいます。
問題は、一般的なIRランプは接着剤やコーティングで固定されており、それらが熱循環を繰り返すと粒子を剥がしてしまうことです。これは良くありません。そこで私たちは、高純度の合成石英を使用しています。この素材は安定していて、粒子を放出しません。
秘密は石英にある
私たちは、不純物がほとんど含まれていない融解シリカを使用しています。なぜかというと、低品質の石英は高温になると曇ってしまう傾向があるからです。金属的不純物を取り除くことで、ランプが加熱中に微小な粒子をウェーハに落とさないようにしています。必要な熱は得られますが、ウェーハはきれいな状態を保たれます。それだけです。
適切な距離を見極める
ランプとウェーハの間の距離を正しく設定するのは難しいです。
距離が近すぎると、薄いウェーハが変形してしまいます。逆に遠すぎると、加熱に時間がかかり、生産効率が低下します。これを解決するために、私たちは精密な短波長放射を実現するランプを使用しています。これにより、安全な距離でも高いエネルギー密度を維持できます。
注意すべき点
高純度の石英は化学的には安定していますが、脆い性質を持っています。
どうぞ、素手でこのチューブに触れないでください。皮膚から出る油分がストレスの原因となり、ランプが壊れてしまいます。同様に、取り付けブラケットも緩んでいる必要があります。硬いクランプで石英を押さえると、膨張しようとした瞬間に割れてしまいます。十分な余裕を持たせてください。
これらのランプは、焼成や硬化工程に簡単に交換できるように設計されています。電源のワット数が適切かを確認して、フィラメントが過負荷にならないようにしてください。