Lam Research社のヒーターの交換：赤外線加熱を利用してスペクトル純度を確保する
私たちが開発したこの赤外線ヒーターは、Lam Research社製のものと同等の性能を持ちながら、より手頃な価格で提供されるものです。つまり、OEM製品と同じスペクトル出力や熱応答を実現しつつ、高額なコストを避けることができます。もし特定の熱特性のために高額な費用を支払う必要がある場合でも、この装置なら同水準の性能が得られます。
力率、電圧、寸法──精密性を重視した設計
これは高密度の加熱素子であり、精密性を重視して設計されています。400Vの電圧で動作し、コンパクトなサイズながらも強力な熱を生成します。
300mmのチューブ長と2500Wの出力は、チャンバーの形状に合わせて設計されています。そのため、ウェーハや基板全体に均一に熱が行き渡り、過熱や低温の部分が生じません。
この高い出力密度により、急速な温度上昇が可能になります。ただし、それにはシステムへの負荷が伴います。つまり、2500Wの出力に対応するためには、マシンの冷却システムが十分な性能を発揮する必要があります。
材料と設計：ハロゲン、石英、そして完璧なフィット感
心臓部には短波長の赤外線を放つハロゲン素子があり、それが石英管の中に収められています。ハロゲンの特性により、フィラメントが安定し、黒ずみを防ぎ、ランプの寿命期間中もスペクトル出力が一定に保たれます。
石英製の外殻は、急激な温度変化にも耐えられるように設計されており、断続的な運転にも耐えられます。
また、R7sコネクタは直接接続可能で、電流を適切に制御し、ランプをしっかりと固定します。そのため、配線の再配置や設計の変更は不要です。
なぜ重要か：精密性、効率性、そして簡単な取り付け
半導体製造においては、ヒーターは再現性の高いスペクトル純度を提供する必要があります。当社のランプは、元の製品と同じスペクトル特性を持っているため、プロセスパラメータを正確に維持できます。
また、24時間365日の稼働にも対応できるように設計されています。
取り付けも簡単で、古い装置を外し、新しい装置を挿入し、配線を接続するだけです。停機時間は数分程度で済みます。OEM品質の熱性能を得られる一方で、メンテナンスコストも合理的です。