この装置では、最初の焼成工程でフォトレジストのプロファイルが設定されます。ウェーハの温度が5°Cも変動すると、CDがずれたり、オーバーレイが悪化したりして、高額な再作業が必要になります。私たちは、そのような不確実性を解消するために、均一な温度でフォトレジストを焼成できる装置を開発しました。
技術的に重要な点 私たちは、±0.1°Cの精度でウェーハの温度を制御できる反射型のハロゲンランプを使用しています。組み込まれた温度センサーにより、ミリ秒単位で温度を正確に制御でき、ソフトバーンとハードバーンの温度も安定して維持されます。ランプヘッドはクラス1～100の清潔な環境で使用可能であり、ガス放出が少なく、表面に粒子が生成されません。炭素繊維製の断熱材により、熱容量が低く抑えられ、温度が迅速に安定します。また、石英製のケースにより、繰り返しの熱サイクルにも耐えられます。全出力で5,000時間以上の使用が可能で、性能の低下は5％未満です。
なぜこれが有効か この装置は、ウェーハの乾燥、フォトレジストの焼成、パッケージングの硬化、清掃といった処理を、工具を交換することなく行えます。高い均一性により、エッジ部分の問題が減少し、全体の歩留まりが向上します。迅速な温度安定により、焼成時間が短縮され、エネルギー消費が削減され、処理速度が向上します。また、熱管理が適切に行われるため、プロセスの幅が広がります。
知っておくべきこと このランプは標準的なインターフェースに対応していますが、反射器の形状はウェーハのサイズやチャックの形状に合わせる必要があります。PIDの調整や各工程での温度分布の確認には、少し時間がかかります。石英の耐熱限界に近い温度での使用は、ランプの寿命を短くするため、信頼性を保つためには650℃以下での使用を推奨します。