가열 중에 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100급 청정실에서 작업할 때는 아주 작은 먼지 한 알이나 가스 배출로 인해 전체 제품이 망가질 수 있다는 것을 잘 알고 있을 것입니다.
문제는 일반적인 IR 램프들은 접착제나 코팅으로 구성되어 있어서 열을 받으면 그 부분들이 벗겨진다는 것입니다. 그렇게 되면 미세한 입자들이 웨이퍼 위에 떨어지게 됩니다. 이는 좋지 않습니다. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영을 램프에 사용합니다. 이렇게 하면 램프가 제자리에 그대로 있게 됩니다.
비밀은 석영에 있습니다
우리는 불순물이 거의 없는 융합된 실리카를 사용합니다. 왜냐하면 저품질의 석영은 열을 받으면 흐릿해지기 때문입니다. 금속성 불순물을 제거함으로써, 램프가 가열될 때 웨이퍼 위에 미세한 입자들이 떨어지는 것을 방지할 수 있습니다. 필요한 열을 얻으면서도 웨이퍼는 깨끗하게 유지됩니다. 간단하지 않나요?
적절한 거리를 찾는 것
램프와 웨이퍼 사이의 거리를 적절히 조절하는 것은 꽤 어려운 일입니다. 너무 가까우면 얇은 웨이퍼가 변형될 수 있고, 너무 멀면 가열 속도가 느려져 생산 효율이 떨어집니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 램프가 정확한 단파장을 방출하도록 설계합니다. 그렇게 하면 램프를 안전한 거리에 두더라도 높은 에너지 밀도를 유지할 수 있습니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
고순도 석영은 화학적으로는 불활성이지만, 견고성이 낮습니다. 따라서 손으로 직접 이 램프를 만지지 마세요. 피부에서 나오는 기름 때문에 미세한 스트레스점이 생기고, 램프가 급격히 가열될 때 그 부분들이 균열이 생겨 램프가 너무 빨리 고장나버립니다.
마운팅 브라켓도 마찬가지입니다. 긴장이 없도록 해야 합니다. 만약 석영을 단단히 고정시키면, 석영이 팽창하려 할 때 균열이 생깁니다. 충분한 공간을 주어야 합니다.
이러한 램프들은 베이킹 및 경화 공정에 쉽게 대체될 수 있도록 설계되었습니다. 전원 공급 장치의 와트수가 적절한지 반드시 확인하여 필라멘트가 과열되는 것을 방지해야 합니다.