수소 센서를 만들 때 가장 중요한 것은 바로 열에너지입니다. 웨이퍼에 충분하고 정밀한 열에너지가 공급되지 않으면, 재료들이 제대로 결합되지 않아 전체 제품이 버려지게 됩니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 특수한 가열 램프와 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다. 듣기에는 복잡해 보이지만, 그 목적은 간단합니다. 즉, 지불한 전력이 실제로 웨이퍼에 도달하도록 하는 것입니다. 그렇지 않으면 방 안의 온도만 상승할 뿐입니다.
왜 금을 사용할까? 대부분의 반사체는 에너지를 너무 많이 흡수하여 낭비됩니다. 하지만 금은 적외선을 효과적으로 반사할 수 있습니다. 알루미늄이나 연마된 강철은 이에 비해 효율이 낮습니다. 금을 사용하면 더 많은 광자가 웨이퍼 쪽으로 돌아갑니다. 따라서 더욱 정확한 초점을 맞출 수 있으며, 웨이퍼 전체에 걸쳐 일관된 온도를 유지할 수 있습니다. 예측할 필요가 없습니다.
균형을 맞추는 것 가열 장치를 선택할 때는 와트수와 표면 면적을 고려해야 합니다. 고와트수의 램프는 빠르게 열을 발생시킬 수 있지만, 단점도 있습니다. 너무 강한 열이 발생하기 때문입니다. 적절한 반사체가 없다면 열이 집중되어 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 이는 센서의 성능을 저하시킬 수 있습니다. 따라서 균형을 맞추는 것이 매우 중요합니다.
하드웨어의 한계 금은 효율성 면에서는 훌륭하지만, 완벽하지는 않습니다. 클린룸에서는 잘 작동하지만, 화학적 오염이나 긁힘이 생기면 효율성이 급격히 떨어집니다. 그래서 청소가 매우 중요합니다. 코팅이 손상되면 더 많은 에너지를 사용해야 하므로, 결국 손해를 보게 됩니다.
현재 사용 중인 전원 공급 장치가 고출력 램프에 필요한 전압을 감당할 수 있다면, 이러한 시스템들은 기존 설비에 아무런 문제 없이 설치될 수 있습니다.