ในขั้นตอนการอบผงโฟโตรีสิสต์นั้น จะมีการกำหนดรูปร่างของผงโฟโตรีสิสต์ไว้ตั้งแต่ขั้นตอนอบครั้งแรก หากอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปเพียง 5°C เท่านั้น ก็อาจส่งผลให้ค่า CD เปลี่ยนไป ทำให้การวางชั้นวัสดุต่างๆ ไม่ถูกต้อง และส่งผลให้เกิดความสูญเสียจากการต้องทำงานซ้ำอีกครั้ง เราจึงออกแบบหลอดไฟสำหรับการอบผงโฟโตรีสิสต์ที่มีความสม่ำเสมอสูง เพื่อขจัดความไม่แน่นอนดังกล่าว
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้หลอดไฟฮาโลเจนความยาวคลื่นสั้น ซึ่งออกแบบมาให้มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ระดับ ±0.1°C ระบบวัดอุณหภูมิที่ติดตั้งมาด้วยจะช่วยควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้สามารถควบคุมอุณหภูมิในขั้นตอนการอบได้อย่างดี หัวหลอดไฟนี้สามารถใช้งานได้ในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 โดยมีวัสดุที่ปล่อยก๊าซน้อยมาก และไม่มีการก่อตัวของอนุภาคใดๆ ที่หน้าหลอดไฟ วัสดุฉนวนคาร์บอนไฟเบอร์ช่วยลดมวลความร้อน ทำให้อุณหภูมิคงที่ได้เร็ว ส่วนฝาหลอดที่ทำจากควอตซ์ก็สามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิซ้ำๆ ได้ คาดว่าหลอดไฟนี้สามารถใช้งานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของประสิทธิภาพน้อยกว่า 5%
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผล หน่วยนี้สามารถทำหน้าที่ได้หลายอย่าง เช่น การทำให้แผ่นวัสดุแห้ง การอบผงโฟโตรีสิสต์ การอบวัสดุเพื่อให้แข็งตัว และการทำความสะอาด โดยไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนเครื่องมือใดๆ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่สูงช่วยลดปัญหาที่ขอบแผ่นวัสดุ และช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิต การควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วช่วยลดเวลาการอบ ทำให้ประหยัดพลังงานและเพิ่มอัตราการผลิต นอกจากนี้ ช่วงอุณหภูมิที่สามารถควบคุมได้ก็กว้างขึ้น เพราะอุณหภูมิถูกควบคุมอย่างแม่นยำ ไม่ใช่การคาดเดา
สิ่งที่ควรทราบ หลอดไฟนี้สามารถใช้งานได้กับอินเตอร์เฟซมาตรฐาน แต่รูปร่างของตัวสะท้อนแสงจะต้องเหมาะสมกับขนาดของแผ่นวัสดุและรูปร่างของตัวจับแผ่นวัสดุด้วย คาดว่าจะต้องมีการปรับแต่งเล็กน้อยก่อนการใช้งานจริง เพื่อให้อุณหภูมิอยู่ในเกณฑ์ที่เหมาะสม การใช้งานในอุณหภูมิที่สูงเกินไปจะทำให้อายุการใช้งานของหลอดไฟสั้นลง เราขอแนะนำให้ใช้งานในอุณหภูมิต่ำกว่า 650°C เพื่อให้มีความน่าเชื่อถือมากขึ้น