На етапі літографії навіть зміна температури на 1°C може призвести до зміни ширини ліній на пластині на кілька нанометрів. Крім того, наявність частинок може знищити велику кількість продукції. Саме тому було створено модуль інфрачервоного нагріву з розділеною системою керування – це дозволяє підтримувати температурний режим у межах необхідних значень.
Що є важливим з технічної точки зору
Інфрачервоні випромінювачі розташовані в окремих зонах, які керуються окремо. Це дозволяє точно контролювати температуру в залежності від характеристик пластини. На всій поверхні пластини однорідність температури залишається в межах ±0,1°C. Процес висушування фотополімеру стає більш прогнозованим; процеси м’якого та жорсткого висушування відбуваються при більш строгому контролі температури. Втрати чутливості пластини через температурні коливання також зменшуються. Обладнання сумісне з умовами чистих зон класу 1–100, а також призначене для зведення до мінімуму кількості частинок. Надійність обладнання оцінюється, а не гарантується: можлива 24/7 робота без перерв, а термін служби випромінювачів контролюється для забезпечення прогнозованої продуктивності.
Чому це ефективно саме там, де це необхідно
Спочатку наноситься фотополімер, потім він піддається висушуванню. Якщо процес висушування є нерівномірним, це призводить до проблем з адгезією фотополімеру до поверхні пластини та до пошкоджень після перенесення візерунка. Завдяки розділеній системі керування можна точно контролювати температуру на краях пластини, що дозволяє уникнути надмірного висушування. Це призводить до стабільного контролю критичних розмірів пластини, меншої кількості необхідних корекцій та стабільної продуктивності.
Модуль також дозволяє зменшити витрати енергії, оскільки тепло подається лише туди, де це необхідно. Крім того, завдяки швидкому відновленню після кожної серії обробки, час циклу скорочується, без жертвування якістю обробки.
Що потрібно знати заздалегідь
Під час встановлення необхідно врахувати механічні та електричні характеристики основної платформи – тип конекторів, маршрути відведення повітря тощо. Також необхідно провести налаштування для точного відповідності модуля конкретним умовам обробки пластин та фотополімеру.
Модуль дійсно підходить для використання в чистих зонах, але все одно потребує належних умов експлуатації та складного плану профілактичного обслуговування для забезпечення низької кількості частинок та стабільної продуктивності протягом часу.