На етапі літографії навіть зміна температури на 1°C може призвести до зміни ширини ліній на пластині на кілька нанометрів. Крім того, наявність...

На цеху літорафії зміщення у пів градуса під час софт-бейку фотоresistu достатнє, щоб вивести контроль критичного розміру (CD) з допусків. Вафлі...