Tại sao phải tiêu tốn năng lượng để làm nóng không khí, trong khi có thể trực tiếp làm nóng chính wafer?
Hầu hết các nhà máy sản xuất bán dẫn vẫn sử dụng lò sưởi kiểu dùng không khí nén để làm nóng. Đó là một quy trình chậm chạp. Bạn phải làm nóng không khí trước, sau đó không khí mới làm nóng buồng chứa wafer. Chỉ khi may mắn, wafer mới được làm nóng đúng mức. Điều này khiến việc chờ đợi trở thành điều khó tránh khỏi.
Chúng tôi ưu tiên sử dụng bộ sưởi hồng ngoại, vì chúng loại bỏ hoàn toàn yếu tố trung gian trong quá trình làm nóng.
Điều quan trọng nhất là thời gian.
Phương pháp dùng không khí nén rất chậm. Trong khi đó, bộ sưởi hồng ngoại sử dụng bức xạ điện từ để làm nóng trực tiếp chính wafer. Thay vì cố gắng làm nóng cả căn phòng, bạn chỉ cần làm nóng chính wafer thôi. Điều này giúp rút ngắn thời gian cần thiết từ vài giờ xuống còn vài phút. Khi bạn đang sản xuất với khối lượng lớn, việc tiết kiệm 20 phút trong mỗi chu kỳ sản xuất không phải là điều nhỏ nhặt; đó là một lợi ích to lớn cho năng suất hàng ngày của bạn.
Vấn đề liên quan đến phòng sạch
Nếu bạn từng ở trong phòng sạch, bạn sẽ biết rằng luồng không khí chuyển động chính là kẻ thù. Quạt tạo ra bụi bẩn và gây ra hiện tượng nhiễu loạn. Điều này khiến môi trường trong phòng sạch trở nên hỗn loạn.
Bộ sưởi hồng ngoại thì khác; chúng không cần quạt, không tạo ra luồng không khí, và cũng không tạo ra các hạt bụi bay lượn quanh wafer. Để đảm bảo môi trường càng sạch càng tốt, chúng tôi sử dụng lớp vỏ bằng thạch anh. Như vậy, bạn không cần lo lắng về các loại khí hay hạt bụi có thể gây hại cho wafer trong quá trình làm nóng.
Nhược điểm (vì luôn có nhược điểm)
Tuy nhiên, bộ sưởi hồng ngoại cũng không phải là giải pháp hoàn hảo. Ánh sáng hồng ngoại chỉ có thể chiếu vào những vị trí nhất định. Nếu các bộ phận cần được làm nóng có hình dạng phức tạp, ánh sáng hồng ngoại sẽ không thể chiếu vào chúng. Bạn không thể đơn giản đặt bóng đèn hồng ngoại vào lò sưởi thông thường và coi như xong. Bạn cần phải lên kế hoạch rõ ràng về các vùng cần được làm nóng.
Ngoài ra, bộ sưởi hồng ngoại tạo ra lượng nhiệt lớn, nên nếu bạn không sử dụng các bộ tản nhiệt đầy đủ, chiếc khung sản phẩm có thể bị biến dạng, hoặc các cảm biến nhiệt có thể bị hỏng. Vì vậy, chúng tôi luôn khuyến nghị sử dụng bộ điều khiển PID và các cảm biến nhiệt có khả năng phản ứng nhanh. Điều này giúp tránh tình trạng nhiệt độ quá cao, gây hư hại cho sản phẩm.